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产品分类
产品简介
主要技术指标
l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系统
l 测温波长:940nm
l 测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制
l 曲率测量传感器: CCD
l 测温范围: 450度-1450度
l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度
l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道)
l 2点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率
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