昂坤视觉(北京)科技有限公司
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F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备的图片
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面议
品牌:
昂坤视觉
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30
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暂无
型号:
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
产地:
北京
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产品简介

晶圆缺陷检测设备具有明场DIC、暗场和先进的AI技术。F2000可检测裸片和外延片表面的颗粒和划痕等缺陷。其性能与KLA SP1相当。该工具应用于HVM晶圆制造和IC Fab中各种前端工艺节点的检测,以提高芯片生产的良率。

设备描述 Features 

晶圆搬运

EFEM: 6” / 8” SMIF or 12” FOUP

晶圆类型

不透明晶圆,如裸硅片、氧化物、氮化物等

晶圆翘曲

不大于100um

晶圆厚度

350um~1.5mm(在晶圆底部打开并夹持)

照明系统

斜入射暗场,微分干涉明场

非图形化晶圆颗粒检测灵敏度

51nm

检测缺陷分类

Particle, scratch, pit, bump, Haze map

工艺节点

90,130nm


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