昂坤视觉(北京)科技有限公司
首页 > 产品中心 > 测量/计量仪器 > F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
产品详情
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
昂坤视觉
关注度:
71
样本:
暂无
型号:
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
产地:
北京
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 1
名 称:昂坤视觉(北京)科技有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:1688
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

晶圆缺陷检测设备具有明场DIC、暗场和先进的AI技术。F2000可检测裸片和外延片表面的颗粒和划痕等缺陷。其性能与KLA SP1相当。该工具应用于HVM晶圆制造和IC Fab中各种前端工艺节点的检测,以提高芯片生产的良率。

设备描述 Features 

晶圆搬运

EFEM: 6” / 8” SMIF or 12” FOUP

晶圆类型

不透明晶圆,如裸硅片、氧化物、氮化物等

晶圆翘曲

不大于100um

晶圆厚度

350um~1.5mm(在晶圆底部打开并夹持)

照明系统

斜入射暗场,微分干涉明场

非图形化晶圆颗粒检测灵敏度

51nm

检测缺陷分类

Particle, scratch, pit, bump, Haze map

工艺节点

90,130nm


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言